功率器件
实现有效工艺监控，精准预测产品良率
功率电子行业向碳化硅的转型带来了新的检测挑战。碳化硅器件市场正在不断扩大，涵盖了纯电动汽车及其他应用领域的生产。
碳化硅缺陷检测面临的主要挑战在于：如何在大规模量产环境中，通过对晶圆表面不可见的关键缺陷类型进行检测与分类，从而实现有效的工艺监控与良率预测。
Camtek凭借高端光学系统与多通道照明技术，能够以高分辨率检测微小缺陷，为功率半导体制造业提供有力支持。
核心能力
- 高分辨率微小缺陷检测
- 透明与半透明晶圆检测
- 背光照明技术
- 先进的载片解决方案
核心技术
- 用于缺陷检测与量测的先进处理引擎
- 高分辨率3D共聚焦传感器与Camtek光干涉轮廓仪
- 高密度背光LED照明系统
产品
