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Eagleᵀ-AP

专为先进封装市场设计的Eagleᵀ-AP平台,在保持卓越性能和吞吐量的同时,集成了2D和3D量测与检测功能。
该系统具备领先的检测与量测能力,核心优势源自:
  • Genesis检测引擎
  • 高端光学通道
  • 特殊LED照明系统
  • 基于CAD的检测技术
  • 尖端处理能力
  • 支持新一代2微米及以下bump检测
  • 单晶圆可实现5000万次bump量测
  • Bump关键尺寸与表面缺陷检测
  • RDL关键尺寸与高度量测

核心能力

  • 全面支持各种bump类型量测(包括焊料、金、铜柱和微凸块)
  • 3D量测能力:bump高度、共面性、光阻/聚酰亚胺厚度、通孔深度分析
  • 2D量测能力:直径/宽度/长度、位置偏差、套刻精度、芯片偏移量分析

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