清晰视野照明系统

采用多层再布线（RDL）的封装应用会产生过于复杂的图像，导致缺陷检测中出现大量误报。Camtek创新的清晰视野照明（CSI）系统使得精准在多层透明有机材料层上进行缺陷检测变为可能。

配备可抑制底层RDL并使之隔离，只显示最顶层图形的特殊光学系统，CSI技术改善了短路和开路的检测能力，并显著减少由下层图形反射导致的过杀缺陷。