化合物半导体
针对独特工艺的专用检测与量测解决方案
化合物半导体产业正经历重大扩张，以满足众多新兴应用的需求。通过采用碳化硅、氮化镓、砷化镓等多种材料，该领域显著提升了在功率半导体、激光雷达及人脸识别等多个细分市场中新器件的性能。
化合物半导体的制造工艺独具特色，需要专门的检测与量测解决方案。Camtek提供的解决方案涵盖外延层检测、外延层内部隐裂分析、表面形貌测量、翘曲度检测、数据分析等诸多方面。
核心能力
- 高分辨率微小缺陷检测
- 透明晶圆检测
- 量测分析，包括晶圆翘曲度测量与表面形貌分析
- 外延衬底检测
- 产线工艺监控
- 数据分析
- 良率预测
核心技术
- 用于翘曲度测量的共聚焦传感器
- 专用光学系统，结合图像处理实现快速滑移线检测
- 独特光学技术，精准探测形貌偏差
- 基于特征的自动缺陷分类
