产品
Golden Eagle
专为面板检测与量测设计
- 支持面板尺寸：高达650x650毫米
- 新型花岗岩平台
- 高端光学通道
- 基于CAD的检测技术
- 面向扇出型应用的RDL检测
- 专用算法实现卓越检测性能
产品亮点
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- 检测灵敏度：明场0.8微米；暗场0.6微米
- 多倍率物镜优化灵敏度
- 配备滤色片的明场与暗场成像
- 基于CAD的智能检测
- 支持分区配置检测算法实现灵敏度优化
- 可实现不同焦距、照明和检测引擎的连续扫描
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专为面板检测与量测设计