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360°扫描
360°扫描是一个模块化的附加模组，适用于 Eagle 和 Hawk 平台，可提供同步的边缘、斜边（bevel）和背面检测能力。
该模块提供了多种扫描模式（独立模式或组合模式），能够使系统实现全方位 360°扫描，从而提升整体性能
产品亮点
- 晶圆外围和背面缺陷检测，可检测异物（FM）、裂纹、崩边、划痕、残胶、变色和工艺变异
- 可对边缘宽度、层同心度、修剪宽度、边缘厚度、键合对准等测量
- 对堆叠晶圆边缘和斜面的全面覆盖
- 适配高翘曲和高刚性晶圆
- 边缘和斜面检测的缺陷敏感度达 3µm，背面检测缺陷敏感度低至 1µm
- 快速扫描时间和优化后的循环周期
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